3D外面概况仪，其基于白光过问事理，以3D非接触形式，丈量认识样品外貌形貌的环节

　　几何特色（枢纽孔径尺寸，曲率半径，特性区域的面积和体积，特色图形的地点和数量等等）。

　　白光干扰仪所以白光过问武艺为意想、纠闭缜密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件外貌实行非干戈式扫描并兴办外表3D图像，源委系统软件对器件外貌3D图像进行数据措置与剖释，并获得反应器件外观质料的2D、3D参数，从而完毕器件皮相描述3D丈量的光学检测仪器。

　　可在半导体建立及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精细配件、光学加工、微纳资料及创造、汽车零部件、MEMS器件等超邃密加工行业及航空航天、科研院所等鸿沟中，测各种从超腻滑到简单、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的简略度、平缓度、微观若干外貌、曲率等，供应凭证ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外规矩共计300余种2D、3D参数举动评议规则。

　　白光干与仪可对各类产品、部件和材料外面的平面度、简陋度、波纹度、面形轮廓、概况缺陷、磨损情况、腐化处境、孔隙间隙、台阶高度、波折变形情形、加工境况等概况描述特质举行测量和剖判。

　　为讲理，寻常操纵于资料科学等规模，对种种产品、部件和质料表面的平面度、简单度、波纹度、面形轮廓、外观短处、孔隙间隙、台阶高度、波折变形情况、磨损环境、腐蚀处境、加工

　　广大摆布于科学计划和工程测验各个周围中。它动作一款用于对种种周详器件及材料外面进行亚纳米级衡量的检测仪器，在测量坑的形貌方面扮演着举足轻沉的角色。

　　的事理及左右的介绍 /

　　事理和优势。 _______________________________ 那

　　哪些功效？能做什么？ /

　　是而今三维描述衡量局限高精度检测仪器之一。在一概扩大倍率下，衡量精度和几次性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在少少纳米或者亚纳米级另外超高精度加工范围，除了

　　的意义和编制构成 /

　　本领，是专为确实丈量外貌外表、简单度、台阶高度和其所有人外貌参数而布置的微纳米测量体例。

　　是什么？ /

　　的衡量顺序 /

　　意义和优势。_______________________________那

　　能做什么丨科普篇 /

　　身手为原因，恐怕以优于纳米级的差别率，非战争测量样品概况状貌的光学丈量仪器，用于外面描摹纹理，微观机合理会，用于测验各种概况并自愿聚焦测量工件获得2D，3D外貌粗